一、当正在镀膜时真空度突然下降
1.蒸发源水路胶罔损环(更换胶罔)
2.坩埚被打穿(更换坩埚)
3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈)
4.工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
6、高阀突然关闭可能是=位五通阀损坏(更换二位五通阀)
7.机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常)
8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶罔)
9.挡板动密封处胶固损坏(更换胶园)
10. 玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)